关于MEMS

MEMS是指利用微机械加工技术，集微传感器、执行器、机械结构、电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。

MEMS行业是在集成电路行业不断发展的背景下，传统集成电路无法持续地满足终端应用领域日渐变化和多样化的需求而成长起来的。

随着终端应用市场的扩张，使得MEMS应用越来越广泛，产业规模日渐扩大，日趋成为集成电路行业一个新的分支。

国内主要MEMS传感器厂家，基本都在国外代工。

从技术成熟度角度，国内MEMS技术发展目前尚处于起步阶段。

国内MEMS研发多在研究所和高校，企业研发能力相对较差。

国内缺少MEMS规模制造经验，国内企业制造出来的MEMS器件的可靠性和良品率不能完全达到规模化生产的要求。

关于该项目

MEMS 6-8 英寸兼容的中试生产线

8 英寸晶圆级封装及测试线

先进MEMS工艺与服务北京工程研究中心

建设总规模：约45000㎡ ；

产能：3000+10000片/月；

项目总投资：约16亿；

人员总规模：约200人

目前产品种类案例

射频开关

射频振荡器

惯性传感器

微麦克风

硅光器件

原子时钟

片上实验室

基因检序

压力传感器

毫米波波导滤波器

项目进展

2020年获得北京市科委项目支持

2021年获得北京发改委项目支持

2021/6/21

选址怀柔科学城产业转化示范区

2021/9/1

项目指挥部成立

2021/8/11

项目正式启动

2021/8/17

杨云春总向陈吉宁作汇报

2021/9/10

签署框架协议

2021/9/15

设计启动会

2021/9/22

项目评审专家勘察现场

2021/12/1

立项、环评报告编制启动